多晶硅气体过程在线工业气相

劢博仪器——多晶硅气体过程在线工业气相

vocs在线报测系统可以把污染源监测和追朔，完成靶向整治:即时细颗粒物、气体四参、气相色谱五参的状况监测，明确危害地区空气指数的首要要素，把控关键污染源，完成定项整治。

监测数据信息多层次剖析，为空气污染---给予管理决策适用:系统给予充足的数据分析作用，多晶硅气体过程在线工业气相，数据对比、报表统计等，提高自然环境---公共事件的快速响应和处理工作能力。多晶硅气体过程在线工业气相

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采样模块

关键包括采样---头和高溫伴热管线。采样---头具备过虑控制模块，可事先对中的灰尘开展过虑。与此同时采样---头和采样管道均具备高溫加温作用，可合理避免中的高熔点成份及水份冷疑，导致成分损害及管道阻塞。多晶硅气体过程在线工业气相

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预备处理模块

关键包括多级别精密过滤控制模块及总流量校正模块等，进一步除去空气中的细颗粒物，与此同时控制和---气体压力和---性，---后面检验模块检测分析的性。多晶硅气体过程在线工业气相

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分流出口捕集阱假如发生饱和状态，会造成工作压力升高或基准线不稳定等状况，进而促使再现性下降。必须留意的是，在拆换捕集阱的情况下，好是也考虑到这一段的紫铜管道，由于此段管道也有可能早已被环境污染。多晶硅气体过程在线工业气相

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气相口常碰到的问题便是常常漏汽、阻塞和环境污染。一般情形下漏汽很有可能与隔垫、o型环有关系。假如对色谱柱和分流板开展了拆卸，需还记得装好，不然会漏汽。环境污染主要是和衬管、分流平板电脑相关。阻塞状况，主要是分流平板电脑和分流出口捕集阱及其相匹配的管道造成。多晶硅气体过程在线工业气相

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毛细管柱安裝

针对分流/不分流气相口端色谱柱的安裝，先要确定安裝了合理的衬管；随后在色谱柱中次序的安裝隔垫、毛细管柱螺帽及密封垫片；用毛细管柱激光切割工具将毛细管柱柱顶切去1~2公分，将色谱柱列入，柱顶外伸4~6公分；用扳子扭紧孔状柱的螺帽并配备色谱柱的规格型号。留意：色谱柱在分割的情况下一定要整平，不然分离度和峰形将遭受危害。多晶硅气体过程在线工业气相